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基于显微DIC测量系统的电子元器件热循环翘曲变形测试研究

来源:   发布时间:2026/9/16 18:04:45

电子元器件在服役过程中承受高低温循环载荷,不同封装材料热膨胀系数失配会诱发热翘曲、界面高应变,进一步引发微裂纹、分层、键合失效等可靠性问题。传统接触式手段难以适配微小元器件微米亚微米级的全场变形测试。

试验采用新拓三维XTDIC-MICRO三维显微DIC测量系统,结合光学冷热台开展电子元器件温度循环原位试验,实现元器件表面三维位移、应变场的时序采集,获取多温度节点下的翘曲分布、关键点应变演化曲线,识别热应力集中区域,为元器件封装材料选型、结构优化、热失效机理分析提供定量试验依据。

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新拓三维显微DIC测量选题将双目立体视觉、数字图像相关算法与显微光学系统相结合,可在高低温环境下,对电子元器件微小试样开展非接触全场变形监测,输出不同温度下三维位移、应变时序场,分析热循环下翘曲与应变演化规律。

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光学冷热台(温度范围:-190~600℃,可定制)

显微DIC测试系统

新拓三维XTDIC-MICRO三维显微DIC测量系统,包含双目体式显微成像单元、全自动标定转台、散斑制备工具与DIC分析软件。系统可完成微小试样三维重建,获取位移、主应变、点-点距离变化等多类结果,适配高低温原位观测场景。

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显微DIC专用自动标定板

试验加载与采集流程

试样放置于冷热台腔体内,设置元器件温度加载:升降温速率10 ℃/min,由25 ℃升温至 300 ℃,高温恒温保持,再降温回至 25 ℃,完整循环3次;冷热台软件输出标准温度控制曲线。

显微DIC测量系统设置采集间隔 6 s/帧,同步记录温度变化全过程图像序列;DIC软件框选有效散斑计算域,解算不同温度下三维位移场、应变场,提取特征点时序曲线、点间距离变化数据。

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试验结果与数据分析

不同温度下全场翘曲应变分布

分别取25 ℃、50 ℃、100 ℃、200 ℃、300 ℃典型温度节点的三维位移云图。随着温度升高,元器件表面整体翘曲变形逐步增大,边角与局部区域出现明显应变集中效应,直观展现异质材料热膨胀不匹配带来的非均匀变形。

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25℃~300°C元器件表面位移云图

试验现象:低温阶段变形幅值较小;随温度不断升高,翘曲量持续累积;降温过程变形部分回弹,但存在不可逆残余变形倾向,可用于评估封装内部塑性损伤风险。

关键点热循环应变时序演化

选取器件高应变风险区域的特征测点,输出应变时间历程曲线。

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关键测点应变时序曲线(含温度同步标记)

结果可见:每一轮升温阶段应变快速上升,降温阶段应变随之回落;三次循环曲线可反映热应变的累积、回弹规律,可评估每一次温度循环下的应变幅值,预判热疲劳失效风险。

构件相对变形(点-点距离时序)

选取器件表面两组特征标记点,跟踪两点之间距离随温度循环的变化,获取局部区域热胀收缩演化规律,用于评估局部热膨胀行为、界面拉伸 / 压缩变形。

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采用新拓三维XTDIC-MICRO三维显微DIC测量系统,结合光学冷热台完成电子元器件高低温循环原位翘曲变形测试。通过显微DIC非接触获取25 ℃-300 ℃温度区间内元器件表面全场三维位移与应变场,得到不同温度节点翘曲分布,以及关键点应变、特征点间距随温度循环的时序演化规律。

显微DIC测量技术弥补了传统接触式手段在微小电子元器件热测试中的不足,可直观识别热应力集中区域,定量表征升温-降温过程翘曲应变的累积与回弹行为。测试数据可为电子元器件封装材料选型、结构优化、热失效机理解析以及有限元仿真标定提供重要的试验支撑。

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